钛合金棒在吸附泵中的使用

发布时间：2019-10-15 14:28:42 发布人：admin 浏览量：

为了使器件获得高真空，所采用的油扩散泵，固然能保证高的抽速，但它却存在着许多严重不足之处：有各种碳氢化合物，及其热裂产物，严重污染真空空间。当碳氢化合物存在于电真空器件中时，它们常使器件工作时，极不稳定，因而降低了器件的寿命与可靠性。在发生气体放电的空间，由于与气体离子或电子碰撞，而被聚合成碳氢化合物的物质，会凝聚在器件壁上。当有带电质点碰上器件壁，或者在某些工作器件中，受到不断产生的弱x射线辐照，将会形成像一氧化碳、二氧化碳及氢等这样的一些气体。有时会在管子的零件上，因氢还原一氧化碳而形成水蒸汽，因此降低了器件的质量。

近年来发表了许多文章，目的在于改进无油高真空泵和克服油泵的固有缺点。在评述性文章中指出，采用辅助升华泵的离子泵，是发展真空技术中有代表性的趋势，同时在各种结构的高真空泵内，广泛地采用钛合金棒作为吸气剂。

在离子泵内采用钛合金棒阴极。钛合金棒的激活作用，是基于离子按击钛原子(这时新鲜的钛层，起着吸气剂的作用。)和“捕获”撞上钛阴极的离子。

在升华泵中利用钛膜吸气，而钱膜可以用各种不同的蒸散方法来获得，特别是当温度接近oK时凝聚气体最为有效。

在著作中也指出了，离子泵与钛升华泵配合使用的合理性。在被冷却的表面上，喷涂钦比用其他任何方法，更能保证快速地获得超高真空，并易于使真空保持在所需要的水平上。

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